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发明名称 Belichtungsverfahren und -vorrichtung mit einem Strahl geladener Teilchen sowie Aperturblende und Herstellverfahren einer solchen
摘要
申请公布号 DE4090437(T1) 申请公布日期 1997.07.24
申请号 DE19904090437T 申请日期 1990.03.23
申请人 HITACHI, LTD., TOKIO/TOKYO, JP 发明人 WAKABAYASHI, HIROAKI, KODAIRA, TOKIO/TOKYO, JP;NAKAYAMA, YOSHINORI, SAYAMA, SAITAMA, JP;MURAI, FUMIO, TOKIO/TOKYO, JP;OKAZAKI, SHINJI, URAWA, SAITAMA, JP
分类号 H01J37/317;(IPC1-7):G03F7/20;G03F7/22;G03F1/00;G03F1/16;H01L21/20;H01J37/30 主分类号 H01J37/317
代理机构 代理人
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