发明名称 Verfahren zur Herstellung Halbleiteranordnungen unter Verwendung von Gläsern aus Phosphosilikaten
摘要
申请公布号 DE69030401(T2) 申请公布日期 1997.07.17
申请号 DE1990630401T 申请日期 1990.04.25
申请人 AT & T CORP., NEW YORK, N.Y., US 发明人 FLEMING, DEBRA ANNE, LAKE HIAWATHA, NEW JERSEY 07034, US;JOHNSON, DAVID WILFRED, JR., PLUCKEMIN, NEW JERSEY 07978, US;SINGH, SHOBHA, SUMMIT, NEW JERSEY 07901, US;VANUITERT, LEGRAND G., MORRISTOWN, NEW JERSEY 07960, US;ZYDZIK, GEORGE J., COLUMBIA, NEW JERSEY 07832, US
分类号 C03C3/062;C03C3/097;H01L21/314;H01L21/316;(IPC1-7):H01L21/316 主分类号 C03C3/062
代理机构 代理人
主权项
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