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发明名称 ELECTRODE FOR SEMICONDUCTOR ELEMENT, SEMICONDUCTOR DEVICE CONTAINING THE ELECTRODE AND MANUFACTURE THEREOF
摘要
申请公布号 JPH09186159(A) 申请公布日期 1997.07.15
申请号 JP19960000581 申请日期 1996.01.08
申请人 CANON INC 发明人 SEKINE YASUHIRO
分类号 H01L21/28;H01L21/3205;H01L21/8234;H01L23/52;H01L27/088;(IPC1-7):H01L21/320;H01L21/823 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
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