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发明名称
THIN FILM FORMING DEVICE
摘要
申请公布号
JPH09176855(A)
申请公布日期
1997.07.08
申请号
JP19950334522
申请日期
1995.12.22
申请人
FUJI ELECTRIC CORP RES & DEV LTD
发明人
FUNO HIDEKAZU
分类号
C08J7/00;C23C14/56;H01L21/205;H01L31/04;H01L49/02
主分类号
C08J7/00
代理机构
代理人
主权项
地址
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