| 摘要 |
<p>Verfahren zur Strukturierung von Substraten von OFW-Bauelementen mittels Strahlspanen, bei dem auf das Substrat (1) eine Strahlmaske aufgebracht wird, in der an zu strukturierenden Stellen selektiv Fenster erzeugt werden, durch die eine Strahlbearbeitung durchgeführt wird.</p> |
