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发明名称 Vorrichtung und Verfahren zur Untersuchung eines Halbleiters
摘要
申请公布号 DE69030647(D1) 申请公布日期 1997.06.12
申请号 DE19906030647 申请日期 1990.12.27
申请人 SHARP K.K., OSAKA, JP 发明人 NAKANO, AKIHIKO, NARA-SHI, NARA-KEN, JP
分类号 G01R31/302;G01R31/305;(IPC1-7):H01L23/544;G01N1/32;H01J37/20 主分类号 G01R31/302
代理机构 代理人
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