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发明名称 FORMATION OF WIRING PLUG
摘要
申请公布号 JPH09148438(A) 申请公布日期 1997.06.06
申请号 JP19950326517 申请日期 1995.11.21
申请人 SONY CORP 发明人 NAGAYAMA TETSUJI
分类号 H05H1/46;C23F4/00;H01L21/28;H01L21/768;(IPC1-7):H01L21/768 主分类号 H05H1/46
代理机构 代理人
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