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发明名称 Force transducer and method of fabrication thereof
摘要
申请公布号 EP0735352(A3) 申请公布日期 1997.05.21
申请号 EP19960105141 申请日期 1996.03.30
申请人 KABUSHIKI KAISHA TOYOTA CHUO KENKYUSHO 发明人 TSUKADA, KOUJI;MORIKAWA, TAKESHI;NONOMURA, YUTAKA;TOKUMITSU, SANAE;TAKEUCHI, MASAHARU;KAWAGUCHI, KAZUYOSHI
分类号 G01B7/16;G01L1/18;G01L9/00;G01L9/04;H01L29/84;(IPC1-7):G01L1/18 主分类号 G01B7/16
代理机构 代理人
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