发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH09134877(A) 申请公布日期 1997.05.20
申请号 JP19950291097 申请日期 1995.11.09
申请人 MATSUSHITA ELECTRON CORP 发明人 FURUKAWA HITOSHI;TAKEMOTO KAZUHISA;KONISHI KOICHI
分类号 H01L27/146;H01L21/20;H01L21/331;H01L29/73;H01L29/732;H01L31/10;(IPC1-7):H01L21/20 主分类号 H01L27/146
代理机构 代理人
主权项
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