发明名称 CHARGED PARTICLE BEAM TRANSFER METHOD
摘要
申请公布号 JPH09129544(A) 申请公布日期 1997.05.16
申请号 JP19950285524 申请日期 1995.11.02
申请人 NIKON CORP 发明人 NAKASUJI MAMORU
分类号 G21K5/04;H01L21/027;(IPC1-7):H01L21/027 主分类号 G21K5/04
代理机构 代理人
主权项
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