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发明名称 SHOWER PLATE
摘要
申请公布号 JPH09129563(A) 申请公布日期 1997.05.16
申请号 JP19950310154 申请日期 1995.11.02
申请人 ULVAC JAPAN LTD 发明人 SAGUSA NOBUYUKI;OGATA HIDEYUKI;HASEGAWA TSUTOMU;ARAI SUSUMU;SHIMIZU YASUO;HIRATA MASAYORI;MORI KATSUHIKO;KIKUCHI MASASHI;OZAKI NORIO;SUWA HIDENORI
分类号 C23C16/44;C23C16/455;H01L21/205;H01L21/31;(IPC1-7):H01L21/205 主分类号 C23C16/44
代理机构 代理人
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