| 发明名称 |
SEMICONDUCTOR DEVICE MANUFACTURING METHOD |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH09129747(A) |
申请公布日期 |
1997.05.16 |
| 申请号 |
JP19950287396 |
申请日期 |
1995.11.06 |
| 申请人 |
TOSHIBA CORP |
发明人 |
HONNA MASARU;DOI YASUHIRO;KUBO TAKASHI;ANAI YASUKO;SATO KAZUHIRO |
| 分类号 |
H01L29/73;H01L21/265;H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/331;H01L21/8238;H01L27/092;H01L29/732;(IPC1-7):H01L21/823;H01L21/306 |
主分类号 |
H01L29/73 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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