| 发明名称 | 表面缺陷的检测方法及其装置 | ||
| 摘要 | 本发明的表面缺陷检查方法是：使偏振光照射在被检查表面上，求其反射光的椭圆偏振光参数(ψ、Δ)；使光照射在与偏振光照射的同一部位，求其反射光强(I)；根据上述参数(ψ、Δ)和光强(I)，判定缺陷等级和种类。本发明的表面缺陷检测装置包括：使偏振光照射被检查表面，测定上述参数(ψ、Δ)的装置；使光照射与偏振光照射的同一部位，测定上述光强(I)的装置；将上述反射光的ψ、Δ、I的三维坐标位置划分成预定的范围并输出的装置。 | ||
| 申请公布号 | CN1149718A | 申请公布日期 | 1997.05.14 |
| 申请号 | CN95102598.8 | 申请日期 | 1995.10.27 |
| 申请人 | 日本钢管株式会社 | 发明人 | 风间彰;大重贵彦;河村努;的场有治 |
| 分类号 | G01N21/88;G01B11/30 | 主分类号 | G01N21/88 |
| 代理机构 | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人 | 范本国 |
| 主权项 | 1.一种表面缺陷的检测方法，包括以下工序：(a)使偏振光照射在有表面缺陷的试样上，预先求取表面反射光的椭圆偏振光参数(ψ、Δ)特性的工序；(b)使偏振光照射在欲检查试样的被检查表面上，求取表面反射光的椭圆偏振光参数(ψ、Δ)的工序；(c)将在工序(b)中获得的椭圆偏振光参数(ψ、Δ)和在工序(a)中获得的椭圆偏振光参数(ψ、Δ)特性进行比较的工序；(d)根据在工序(c)中获得的结果，确定表面缺陷等级的工序。 | ||
| 地址 | 日本东京 | ||