| 发明名称 |
Um método e um aparelho para gerar uma descarga em vapores próprios de um eletrodo de frequência de rádio para auto-sublimação catódica (sputtering) constante do catodo e evaporação do eletrodo |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
BR9407844(A) |
申请公布日期 |
1997.05.13 |
| 申请号 |
BR19940007844 |
申请日期 |
1994.10.12 |
| 申请人 |
BARDOS LADISLAV;BARANKOVA HANA;BERG SOREN |
发明人 |
LADISLAV BARDOS;HANA BARANKOVA;SOREN BERG |
| 分类号 |
C23C14/34;C23C14/22;C23C14/35;C23C14/40;H01J37/34;(IPC1-7):C23C14/40 |
主分类号 |
C23C14/34 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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