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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH09120965(A) 申请公布日期 1997.05.06
申请号 JP19950276063 申请日期 1995.10.25
申请人 TOSHIBA CORP 发明人 KOIKE HIDETOSHI
分类号 H01L21/762;H01L21/322;H01L21/8238;(IPC1-7):H01L21/322 主分类号 H01L21/762
代理机构 代理人
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