发明名称 SEMICONDUCTOR SENSOR DEVICE AND FORMATION THEREOF
摘要
申请公布号 JPH09119912(A) 申请公布日期 1997.05.06
申请号 JP19960186774 申请日期 1996.06.27
申请人 MOTOROOLA SEMIKONDAKUTOUULE SA 发明人 RIONEERU RESUKUUZERESU;JIYAN POORU GIRUMETSUTO;ANDORE PEIRU RABINE
分类号 G01N27/12;H01L21/306;(IPC1-7):G01N27/12 主分类号 G01N27/12
代理机构 代理人
主权项
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