| 发明名称 |
METHOD OF SIMULTANEOUSLY ETCHHFORMING PLURALITY OF TAPERED HOLES |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS5310340(A) |
申请公布日期 |
1978.01.30 |
| 申请号 |
JP19770059471 |
申请日期 |
1977.05.24 |
| 申请人 |
IBM |
发明人 |
JIEHAATO TORIPERU;URUFU DEIITAA RUU |
| 分类号 |
C23F4/00;B26F1/26;B26F1/28;B41J2/135;B41J2/16;H01G4/00;H01J37/34 |
主分类号 |
C23F4/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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