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发明名称
摘要
申请公布号 JP2606143(B2) 申请公布日期 1997.04.30
申请号 JP19940170604 申请日期 1994.07.22
申请人 发明人
分类号 H01L21/28;H01L21/318;H01L21/3205;H01L21/336;H01L21/8234;H01L23/52;H01L29/423;H01L29/45;H01L29/49;H01L29/78;(IPC1-7):H01L29/78;H01L21/320 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
主权项
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