发明名称 EPITAXIAL REACTOR APPARATUS AND METHOD
摘要
申请公布号 CA717947(A) 申请公布日期 1965.09.14
申请号 CAD717947 申请日期
申请人 INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORPORATION 发明人 EDWARD G. GROCHOWSKI;WILLIAM H. WHITE;ROBERT S. SCHWARTZ;MICHELE RANALDI
分类号 主分类号
代理机构 代理人
主权项
地址
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