发明名称 |
Optical film material,especially TiOÂ or TaÂO5,optical waveguide layer and method for producing such |
摘要 |
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申请公布号 |
GB2276635(B) |
申请公布日期 |
1997.04.16 |
申请号 |
GB19940005709 |
申请日期 |
1994.03.23 |
申请人 |
* BALZERS AKTIENGESELLSCHAFT |
发明人 |
JOHANNES * EDLINGER;EDUARD * KUEGLER;HELMUT * RUDIGIER |
分类号 |
C23C14/08;C23C14/38;G02B1/10;G02B6/132;(IPC1-7):C23C14/08;C23C14/35 |
主分类号 |
C23C14/08 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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