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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH09102506(A) 申请公布日期 1997.04.15
申请号 JP19950258424 申请日期 1995.10.05
申请人 HITACHI LTD 发明人 NAKAZAWA YOSHITO
分类号 H01L21/336;H01L29/06;H01L29/08;H01L29/78;(IPC1-7):H01L21/336 主分类号 H01L21/336
代理机构 代理人
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