首页 产品 黄页 商标 征信
会员服务 注册 登录 
全部
 |
企业名
 |
法人/股东/高管
 |
品牌/产品
 |
地址
 |
经营范围
发明名称 System for generating a high density plasma
摘要
申请公布号 EP0570484(B1) 申请公布日期 1997.04.09
申请号 EP19920905727 申请日期 1992.02.04
申请人 PLASMA & MATERIALS TECHNOLOGIES, INC. 发明人 CAMPBELL, GREGOR, A.;CONN, ROBERT, W.;PEARSON, DAVID, C.;DECHAMBRIER, ALEXIS, P.;SHOJI, TATSUO
分类号 C23C14/34;C23C16/50;C23C16/511;C23F4/00;H01J37/32;H01L21/205;H01L21/302;H05H1/46;(IPC1-7):H01J37/32 主分类号 C23C14/34
代理机构 代理人
主权项
地址
您可能感兴趣的专利
©  2024 传众  czvv.com