发明名称
摘要
申请公布号 JP2598446(B2) 申请公布日期 1997.04.09
申请号 JP19880011512 申请日期 1988.01.21
申请人 发明人
分类号 H01L29/78;H01L27/02;H01L29/06;(IPC1-7):H01L29/78 主分类号 H01L29/78
代理机构 代理人
主权项
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