发明名称 INTEGRATED CIRCUIT DEVICE
摘要
申请公布号 JPH0989995(A) 申请公布日期 1997.04.04
申请号 JP19950251275 申请日期 1995.09.28
申请人 NIPPON PRECISION CIRCUITS KK 发明人 YAMAMOTO SHINJI
分类号 G01R31/28;H01L21/66;H01L21/822;H01L27/04;(IPC1-7):G01R31/28 主分类号 G01R31/28
代理机构 代理人
主权项
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