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发明名称 Apparatus for making or treating a semiconductor
摘要
申请公布号 GB2299711(B) 申请公布日期 1997.04.02
申请号 GB19960011159 申请日期 1993.11.08
申请人 * LG ELECTRONICS INC 发明人 BYUNG CHUL * AHN
分类号 C23C16/06;C23C16/24;C23C16/34;C23C16/40;C23C16/44;C23C16/455;C23C16/509;H01L21/205;H01L21/306;H01L21/316;H01L21/318;(IPC1-7):H01L21/00;H01L21/263;H01L21/302;H01L21/31 主分类号 C23C16/06
代理机构 代理人
主权项
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