发明名称 Verfahren zur Analyse einer Lithium-Niobat dünnen Schicht und Apparat zu ihrer Vorbereitung
摘要
申请公布号 DE69123283(T2) 申请公布日期 1997.03.27
申请号 DE19916023283T 申请日期 1991.04.29
申请人 SHARP K.K., OSAKA, JP 发明人 MATSUNAGA, HIRONORI, NARA-SHI, NARA-KEN, JP;OHNO, HIROTAKA, NISHIYAMOTO, KANMAKI-CHO, KITAKATSURAGI-GUN, NARA-KEN, JP;OKAMOTO, YASUNARI, NARA-SHI NARA-KEN 631, JP
分类号 G01N21/31;C30B29/30;G01N21/21;G01N21/33;G01N21/84;G02B6/13;(IPC1-7):G01N21/84 主分类号 G01N21/31
代理机构 代理人
主权项
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