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发明名称 Vorrichtung zum Heizen von Substraten
摘要
申请公布号 DE3938267(C2) 申请公布日期 1997.03.27
申请号 DE19893938267 申请日期 1989.11.17
申请人 BALZERS UND LEYBOLD DEUTSCHLAND HOLDING AG, 63450 HANAU, DE 发明人 JUNG, MICHAEL, 8756 KAHL, DE
分类号 C23C16/458;C23C16/46;H01M2/10;(IPC1-7):C23C16/46;C23C14/22;H01M10/00 主分类号 C23C16/458
代理机构 代理人
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