发明名称 X-Y TABLE DEVICE FOR VOLUME CONTROL OF SUBSTRATE
摘要
申请公布号 KR970002591(Y1) 申请公布日期 1997.03.26
申请号 KR19930025664U 申请日期 1993.11.30
申请人 HYUNDAI ELECTRONICS IND.CO.,LTD. 发明人 KWON, JAE-HYUN
分类号 H05K13/00;(IPC1-7):H05K13/00 主分类号 H05K13/00
代理机构 代理人
主权项
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