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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH0974101(A) 申请公布日期 1997.03.18
申请号 JP19950248258 申请日期 1995.09.04
申请人 SONY CORP 发明人 MANABE TOYOO
分类号 H01L29/73;H01L21/331;H01L29/732;(IPC1-7):H01L21/331 主分类号 H01L29/73
代理机构 代理人
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