| 发明名称 |
Megasonic cleaning system using compressed, condensed gases |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP0624405(B1) |
申请公布日期 |
1997.03.12 |
| 申请号 |
EP19940105507 |
申请日期 |
1994.04.08 |
| 申请人 |
HUGHES AIRCRAFT COMPANY |
发明人 |
STANFORD, THOMAS B. JR.;CHAO, SIDNEY C. |
| 分类号 |
B08B3/12;B08B7/00;C23G5/00;C23G5/04;D06F19/00;D06F43/08;H01L21/00;H01L21/304;H05K3/26;(IPC1-7):B08B3/12 |
主分类号 |
B08B3/12 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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