发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE AND MANUFACTURE THEREOF
摘要
申请公布号 JPH0964027(A) 申请公布日期 1997.03.07
申请号 JP19950221248 申请日期 1995.08.30
申请人 ROHM CO LTD 发明人 TSURUTA MASATAKA;SHIMOJI NORIYUKI;YONEZAWA TAKUYA
分类号 H01L21/3205;H01L21/316;H01L21/8247;H01L23/52;H01L27/115;(IPC1-7):H01L21/316;H01L21/320 主分类号 H01L21/3205
代理机构 代理人
主权项
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