| 发明名称 |
Method of epitaxially growing silicon carbide by pyrolytically decomposing sih4 and ch4 |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
US3382113(A) |
申请公布日期 |
1968.05.07 |
| 申请号 |
US19650472615 |
申请日期 |
1965.07.16 |
| 申请人 |
INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORPORATION |
发明人 |
EBERT EKKEHARD;SPIELMANN WERNER |
| 分类号 |
C01B31/36;H01L21/00;H01L29/24 |
主分类号 |
C01B31/36 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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