发明名称 Verfahren für die Behandlung einer Oxidschicht
摘要
申请公布号 DE59207851(D1) 申请公布日期 1997.02.20
申请号 DE19925007851 申请日期 1992.07.31
申请人 BALZERS UND LEYBOLD DEUTSCHLAND HOLDING AG, 63450 HANAU, DE;TOPPAN PRINTING CO. LTD., TOKIO/TOKYO, JP 发明人 KRUG, THOMAS, DR., W-6450 HANAU 1, DE;RUEBSAM, KLEMENS, DIPL.-PHYS., W-6485 JOSSGRUND, DE;MEIER, ANDREAS, DIPL.-PHYS., W-7417 PFULLINGEN, DE;STEINIGER, GERHARD, DIPL.-PHYS., W-6451 RONNEBURG, DE;KANO, MITSURU, SHINJUKU-KU TOKYO, JP;SASAKI, NOBORU, KITAKATUSHIKA-GUN SAITAMA, JP;MIYAMOTO, TAKASHI, KITAKATUSHIKA-GUN SAITAMA, JP;SEKIGUCHI, MAMORU, KAWAGUCHI-SHI SAITAMA, JP
分类号 C23C14/10;C23C14/56;C23C14/58;(IPC1-7):C23C14/58 主分类号 C23C14/10
代理机构 代理人
主权项
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