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发明名称 CHEMICAL SUPPLY DEVICE
摘要
申请公布号 JPH0942600(A) 申请公布日期 1997.02.14
申请号 JP19950197226 申请日期 1995.08.02
申请人 HITACHI LTD;HITACHI HOKKAI SEMICONDUCTOR LTD 发明人 NIUCHI MASAKI
分类号 F17D1/14;C23F1/08;F17D3/00;F17D5/06;H01L21/306;(IPC1-7):F17D5/06 主分类号 F17D1/14
代理机构 代理人
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