发明名称 缺陷检查资料处理系统
摘要 本发明之缺陷检查资料处理系统系具备有:在制造工程具备有取得处理对象之被检体的二次元影像之影像处理手段以及以利用该影像处理手段所取得的影像作为资料来传送的资料传送手段之客户端电脑、和记录由该客户端电脑传送的影像资料之资料库、和具备有根据针对由该资料库所读出的前述影像资料抽出缺陷资讯之缺陷抽出手段以及在该缺陷抽出手段所抽出的缺陷资讯,来判定耐述被检体是否优良的良否判定手段之主电脑;且另外构成前述客户端电脑与前述主电脑,透过通信回线来连接。
申请公布号 TW461963 申请公布日期 2001.11.01
申请号 TW089124946 申请日期 2000.11.23
申请人 奥林柏士光学工业股份有限公司 发明人 田中利彦
分类号 G01N21/88 主分类号 G01N21/88
代理机构 代理人 林志刚 台北巿南京东路二段一二五号七楼
主权项 1.一种缺陷检查资料处理系统,其特征为具有:具备有取得在制造工程当作处理对象的被检体的二次元影像的影像处理手段以及将在该影像处理手段所取得的影像作成资料来转送的资料传送手段之客户端电脑、和记录由该客户端电脑所转送的影像资料之资料库、和具备有根据针对从该资料库被读出的前述影像资料抽出缺陷资讯的缺陷抽出手段以在该缺陷抽出手段所抽出的缺陷资讯来判定前述被检体是否优良的良否判定手段之主电脑;且另外构成前述客户端电脑与前述主电脑,透过通信回线来连接。2.如申请专利范围第1项所记载之缺陷检查资料处理系统,前述良否判定手段系具有将在前述缺陷抽出手段所抽出的缺陷资讯对照登录在一定之缺陷字典的缺陷资料,来判定缺陷种类的机能、和将新的缺陷资料登录在前述缺陷字典的机能。3.如申请专利范围第1项所记载之缺陷检查资料处理系统,在前述通信回线连接前述资料库,将来自前述客户端电脑的影像资料透过前述通信回线记录在前述资料库,将记录在此资料库的前述影像资料透过前述通信回线读出到前述主电脑。4.如申请专利范围第1项所记载之缺陷检查资料处理系统,在前述通信回线连接复数台前述客户端电脑。5.如申请专利范围第3项所记载之缺陷检查资料处理系统,在前述通信回线连接复数台前述客户端电脑。6.如申请专利范围第1项或第3项所记载之缺陷检查资料处理系统,前述主电脑是透过前述通信回线,被设置在与前述客户端电脑不同的场所。7.如申请专利范围第1项或第3项所记载之缺陷检查资料处理系统,前述客户端电脑是被配置在进行前述制造工程的无尘室内,前述主电脑是离开前述客户端电脑,被设置在前述无尘室外。8.如申请专利范围第4项所记载之缺陷检查资料处理系统,复数台前述客户端电脑是各自被设置在不同的地点,透过前述通信回线被连接到前述主电脑。9.如申请专利范围第1项所记载之缺陷检查资料处理系统,前述客户端电脑系具有针对在前述影像处理手段所处理的影像资料,抽出缺陷部分之缺陷抽出手段。10.如申请专利范围第3项、第4项、第5项之任一项所记载之缺陷检查资料处理系统,前述客户端电脑系具有针对在前述影像处理手段所处理的影像资料,抽出缺陷部分之缺陷抽出手段。11.如申请专利范围第1项所记载之缺陷检查资料处理系统,前述主电脑系具有由用来记忆在前述影像处理手段所处理的影像资料之影像记忆部、和用来并列处理被记忆在此影像记忆部之复数不同的影像资料之复数个缺陷抽出手段所构成之缺陷检测演算机构。12.如申请专利范围第1项、第9项、第11项之任一项所记载之缺陷检查资料处理系统,前述缺陷抽出手段系具备有针对前述影像资料而加以除去影像斑纹之影像斑纹除去手段。13.如申请专利范围第10项所记载之缺陷检查资料处理系统,前述缺陷抽出手段系具备有针对前述影像资料而加以除去影像斑纹之影像斑纹除去手段。14.如申请专利范围第12项所记载之缺陷检查资料处理系统,前述斑纹除去手段系系具备有经由前述影像处理手段取得无缺陷的镜面或是全面具有均匀反射率的样品影像,且针对其影像资料用来记忆影像斑纹资料之影像斑纹记忆手段,而从自前述资料库被读出的影像资料除去前述影像斑纹资料。15.如申请专利范围第1项、第9项、第11项之任一项所记载之缺陷检查资料处理系统,前述缺陷抽出手段更具备有:用来记忆指定前述被检体座标的特征部分之影像及座标的特征记忆手段、和比较被记忆在此特征记忆手段的影像与从前述资料库被读出的影像资料而求得偏移之特征部分抽出手段、和用来修正经由此特征部分抽出手段被检测出的影像偏移之影像位置修正手段。16.如申请专利范围第10项所记载之缺陷检查资料处理系统,前述缺陷抽出手段更具备有:用来记忆指定前述被检体座标的特征部分之影像及座标的特征记忆手段、和比较被记忆在此特征记忆手段的影像和从前述资料库被读出的影像资料而求得偏移之特征部分抽出手段、和修正经由此特征部分抽出手段被检测出的影像偏移之影像位置修正手段。17.如申请专利范围第1项所记载之缺陷检查资料处理系统,在前述通信回线连接经过远程操作获得向前述客户端电脑指示之操作输入手段。18.如申请专利范围第1项所记载之缺陷检查资料处理系统,前述主电脑会将在前述良否判定手段被判定为不良的影像资料,自动的保存在前述资料库。19.如申请专利范围第1项所记载之缺陷检查资料处理系统,前述影像处理手段系由针对前述被检体取得相对移动的全面影像之直线照明和线灵敏照相机所构成的,可针对前述被检体面,改变前述直线照明和前述线灵敏照相机的光轴角度,就可取得不同的影像资料。图式简单说明:第一图系表示有关本发明之实施形态的缺陷检查资料处理系统之概略构成图。第二图系表示有关本发明之实施形态的缺陷摄像部之概略构成图。第三图系表示有关本发明之实施形态的被检查体之搬送工程图。第四图系表示有关习知例的缺陷检查装置之其中一实例图。
地址 日本
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