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发明名称 Vorrichtung zum Beschichten und/oder Aetzen von Substraten in einer Vakuumkammer.
摘要
申请公布号 CH687766(A5) 申请公布日期 1997.02.14
申请号 CH19930002682 申请日期 1993.09.08
申请人 LEYBOLD AKTIENGESELLSCHAFT 发明人 MAHLER, PETER;STANG, WOLFGANG
分类号 C23C14/34;C23C14/50;C23F4/00;H01L21/205;H01L21/302;(IPC1-7):C23C14/50;H01J37/34 主分类号 C23C14/34
代理机构 代理人
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