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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH0936115(A) 申请公布日期 1997.02.07
申请号 JP19950183894 申请日期 1995.07.20
申请人 ASAHI CHEM IND CO LTD 发明人 HIRAI MASAHIKO
分类号 H01L21/3205;H01L21/304;H01L21/768;H01L23/522;(IPC1-7):H01L21/320 主分类号 H01L21/3205
代理机构 代理人
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