发明名称 Verfahren und Gerät zur Reinigung von Halbleiterbauelementen
摘要
申请公布号 DE69028130(T2) 申请公布日期 1997.02.06
申请号 DE19906028130T 申请日期 1990.03.29
申请人 KABUSHIKI KAISHA TOSHIBA, KAWASAKI, KANAGAWA, JP 发明人 MASE, YASUKAZU, C/O INTELLECTUAL PROPERTYDIVISION, MINATO-KU, TOKYO 105, JP;HIRATA, OSAMU, C/O INTELLECTUAL PROPERTY DIVISION, MINATO-KU, TOKYO 105, JP;ABE, MASAHIRO, C/O INTELLECTUAL PROPERTYDIVISION, MINATO-KU, TOKYO 105, JP
分类号 B08B3/12;H01L21/00;H01L21/304;(IPC1-7):H01L21/00;H01L21/306 主分类号 B08B3/12
代理机构 代理人
主权项
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