叠层物品的检验设备

摘要

一种光投射系统，能投射出一对共平面的光束，令此光束从一个夹持器，例如装半导体圆片的盒子的一侧通过盒子可以确定盒中各圆片的位置。盒子一侧上的反射器将该对光束都反射回去，使其通过盒中并照射到盒子另一侧的分立的光电检测器上。盒子运动时，由计算机分析各光电检测器来的信号。盒子运动时，圆片将光束遮断。信号中各脉冲的相对宽度和时间表示圆片在盒中的位置以及圆片是否没有排列好。

主权项

1.一种位置检测系统，用以检测多个物品在具有第一和第二对置面的夹持器中的位置，其特征在于，它包括：第一发射体，安置在夹持器的第一面上，用以产生第一辐射束，射向所述夹持器；一个反射器，安置在夹持器的第二面上，用以将第一辐射束至少部分地射回夹持器；第一检测器，安置在夹持器的第一面上，用以接收经所述反射器反射之后的第一辐射束，并产生表示投射到所述检测器的辐射强度的第一信号；一个扫描机构，用第一辐射束扫描夹持器中的多件物品；和一个电子电路，用以接收来自所述检测器的第一信号，并响应该信号以产生物品是否在夹持器中妥善安置的指示。