发明名称 MOVING TABLE FOR SCANNING PROBE MICROSCOPE
摘要
申请公布号 JPH0926428(A) 申请公布日期 1997.01.28
申请号 JP19950176190 申请日期 1995.07.12
申请人 OLYMPUS OPTICAL CO LTD 发明人 FUKUSHIMA NORICHIKA
分类号 G01B21/30;G01N37/00;G01Q10/04;G01Q60/10;G01Q60/18;G12B5/00;(IPC1-7):G01N37/00 主分类号 G01B21/30
代理机构 代理人
主权项
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