| 发明名称 |
FORMATION OF CONTACT HOLE OF MINUTE SEMICONDUCTOR ELEMENT |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH0922882(A) |
申请公布日期 |
1997.01.21 |
| 申请号 |
JP19960171378 |
申请日期 |
1996.07.01 |
| 申请人 |
HYUNDAI ELECTRON IND CO LTD |
发明人 |
KIMU JINKUKU;BAKU SONUKU |
| 分类号 |
C23C14/24;H01L21/28;H01L21/285;H01L21/31;H01L21/311;H01L21/316;H01L21/768;(IPC1-7):H01L21/28 |
主分类号 |
C23C14/24 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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