发明名称 HOMOGENEITY INSPECTION EQUIPMENT FOR OPTICAL MATERIAL
摘要
申请公布号 JPH0915095(A) 申请公布日期 1997.01.17
申请号 JP19950184869 申请日期 1995.06.27
申请人 NIKON CORP 发明人 TANIHIRA YUMIKO;SAWADA HIDEJI;KAGAYA MASANAO
分类号 G01N21/88;G01M11/00;G01N21/958;G02B27/50;(IPC1-7):G01M11/00 主分类号 G01N21/88
代理机构 代理人
主权项
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