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发明名称
摘要
申请公布号
JP2522481(Y2)
申请公布日期
1997.01.16
申请号
JP19910112648U
申请日期
1991.12.25
申请人
发明人
分类号
C23C16/44;C23C16/458;H01L21/205;H01L21/285;H01L21/31;(IPC1-7):H01L21/205
主分类号
C23C16/44
代理机构
代理人
主权项
地址
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