发明名称 VACUUM LEAKAGE TESTING APPARATUS
摘要
申请公布号 JPH095202(A) 申请公布日期 1997.01.10
申请号 JP19950152979 申请日期 1995.06.20
申请人 HITACHI LTD;HITACHI ENG CO LTD 发明人 INOUE MASASHI;KOGURE SUMIO;MAJIMA TADASHI;KAWAI KENICHI;YOSHIDA YOJI
分类号 G01M3/24;(IPC1-7):G01M3/24 主分类号 G01M3/24
代理机构 代理人
主权项
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