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发明名称 SEMICONDUCTOR PRESSURE SENSOR
摘要
申请公布号 JPH098327(A) 申请公布日期 1997.01.10
申请号 JP19950150000 申请日期 1995.06.16
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP 发明人 IPPOSHI TAKASHI
分类号 G01L1/18;G01L9/00;G01L9/04;H01L29/84;(IPC1-7):H01L29/84 主分类号 G01L1/18
代理机构 代理人
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