| 发明名称 |
A method of enhancing the properties of a thin film on a substrate |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP0477990(B1) |
申请公布日期 |
1996.12.27 |
| 申请号 |
EP19910116701 |
申请日期 |
1991.09.30 |
| 申请人 |
APPLIED MATERIALS, INC. |
发明人 |
GILBOA, HAIM;MOSELY, RODERICK C. |
| 分类号 |
H01L21/203;C23C14/06;C23C14/58;H01L21/28;H01L21/318;H01L21/3205;H01L23/52;(IPC1-7):C23C14/58;C23C14/56 |
主分类号 |
H01L21/203 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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