发明名称 METHOD FOR PRE-EPITAXY CLEANING OF GALLIUM ARSENIDE PLATES
摘要
申请公布号 RU1593513(C) 申请公布日期 1996.12.27
申请号 SU19884475824 申请日期 1988.08.22
申请人 BASHEVSKAYA O.S.;KOLMAKOVA T.P.;PASHCHENKO P.B.;TYUNKOVA Z.V. 发明人 BASHEVSKAYA O.S.;KOLMAKOVA T.P.;PASHCHENKO P.B.;TYUNKOVA Z.V.
分类号 H01L21/306;(IPC1-7):H01L21/306 主分类号 H01L21/306
代理机构 代理人
主权项
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