| 发明名称 |
GUIDANCE PLASMA GENERATOR AND METHOD OF GIVING CAPACITIVE COUPLING |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH08339897(A) |
申请公布日期 |
1996.12.24 |
| 申请号 |
JP19960128413 |
申请日期 |
1996.05.23 |
| 申请人 |
INTERNATL BUSINESS MACH CORP <IBM> |
发明人 |
JIYON HOWAADO KERAA;MITSUCHIERU SUKOTSUTO BAANESU;JIYON KAATO FUOOSUTAA;JIYON EDOWAADO HAIDENRAIHI SAADO |
| 分类号 |
H05H1/46;C23C16/50;C23F4/00;H01J37/32;H01L21/302;H01L21/3065;(IPC1-7):H05H1/46;H01L21/306 |
主分类号 |
H05H1/46 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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