8-14微米微型线性渐变滤光器

摘要

本实用新型提供了一种8-14微米微型线性渐变滤光器。它是以锗为基板，用碲化铅，硫化锌或硒化锌为镀膜材料，采用真空蒸镀干涉膜制作而成。在基板的中间任一位置只透过8-14微米内的一种特定波长的红外光，光谱分辨达到0.2微米。它与列阵探测器组合使用，可以简化仪器的光学和机械系统。提高仪器的可靠性和稳定性，使它们微小化而便于携带。更重要的是它能同时识别不同的光辐射，同时快速地探测不同的光谱辐射。

主权项

1、一种微型线性渐变滤光器，是在基板上蒸镀多层介质膜组成，其特征在于：a.基板(1)以厚0.1-0.2毫米表面抛光的锗材料做成；b.镀层介质膜材料用硫化锌或硒化锌(2)与碲化铅(3)在基板(1)上真空蒸镀多层干涉膜；c.主通带膜系(4)为：G/HLHLH4LHLHL/Air或G/HLHLH2LHLHL/Air；前截次峰膜系(5)为：G/0.635[0.5HL0.5H]5/0.375[0.5HL0.5H]4/L/Air或G/0.635[0.5HL0.5H]5/0.375[0.5HL0.5H]4/0.295[0.5HL0.5H]3 /L/Air；后截次峰膜系(6)为：G/1.82[0.5HL0.5H]5/HL/Air；排列式中各符号含义分别为：G表示锗基板(1)，H表示光学厚度为λ0/4的碲化铅(3)膜层；L表示光学厚度为λ0/4的硫化锌或硒化锌(2)膜层，λ0 为特定波长，Air表示空气；d.基板(1)上的各层干涉膜的厚度在基板的长度方向按同样速率线性增加或减小，具体是特定波长λ0在基板(1)的长度方向按同样速率由8微米至14微米线性增加或沿相反方向线性减小。