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摘要
申请公布号
JP2563779(B2)
申请公布日期
1996.12.18
申请号
JP19860090935
申请日期
1986.04.18
申请人
MITSUBISHI ELECTRIC CORP
发明人
MOCHIZUKI HIROSHI;HARADA SHIGERU;NOGUCHI TAKESHI
分类号
C23C22/77;(IPC1-7):C23C22/77
主分类号
C23C22/77
代理机构
代理人
主权项
地址
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